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LW-9300TIC 熱傳風洞
特點
根據SEMI 38-87規範設計製造
規格
1. 開迴路下吹式結構
2. 試驗段：0.3 (W) × 0.3 (H) × 0.7 (L) m
3. 流場品質：
3.1. 在未加熱狀態，風速達2 m/sec以上，於中心點起算80%的截面積
3.2. 均勻度 >98%
3.3. 擾流強度<1%
4. 風速：1 ~ 10 m/sec
5. 總體尺寸：0.75 (W) × 4.3 (L) × 1.8 (H) m (Ref.)
6. 使用電力：AC220V, 單相, 10 Amp
根據SEMI 38-87規範設計製造
規格
1. 開迴路下吹式結構
2. 試驗段：0.3 (W) × 0.3 (H) × 0.7 (L) m
3. 流場品質：
3.1. 在未加熱狀態，風速達2 m/sec以上，於中心點起算80%的截面積
3.2. 均勻度 >98%
3.3. 擾流強度<1%
4. 風速：1 ~ 10 m/sec
5. 總體尺寸：0.75 (W) × 4.3 (L) × 1.8 (H) m (Ref.)
6. 使用電力：AC220V, 單相, 10 Amp
試驗段
